Type: High Vacuum Experimentation System
Chamber Size:
- Width: 420 mm
- Depth: 480 mm
- Height: 550 mm
Deposition Methods:
- Thermal evaporation (up to 8 materials)
- Electron beam evaporation
- Sputtering
- Organic material evaporation
Features:
- Modular and highly configurable design / ออกแบบแบบแยกส่วนและกำหนดค่าได้สูง
- Suitable for R&D and pilot-scale coating applications / เหมาะสำหรับงานด้านการวิจัยและพัฒนาและการเคลือบระดับไพลอทสเกล
- Supports various thin-film deposition techniques / รองรับเทคนิคการ deposition ฟิล์มบางต่างๆ
Applications: Thin-film solar cell research (e.g., CdTe, CIGS, CZTS), Organic electronics (e.g., photovoltaics, OLEDs), Optical coatings, Microelectronics / การวิจัยเซลล์แสงอาทิตย์แบบฟิล์มบาง (เช่น CdTe, CIGS, CZTS), อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ (เช่น เซลล์แสงอาทิตย์, OLED) การเคลือบด้วยแสง ไมโครอิเล็กทรอนิกส์