Type: High Vacuum Experimentation System
Chamber Size:
- Width: 420 mm
- Depth: 480 mm
- Height: 550 mm
Deposition Methods:
- Thermal evaporation (up to 8 materials)
- Electron beam evaporation
- Sputtering
- Organic material evaporation
Features:
- Modular and highly configurable design / āļāļāļāđāļāļāđāļāļāđāļĒāļāļŠāđāļ§āļāđāļĨāļ°āļāļģāļŦāļāļāļāđāļēāđāļāđāļŠāļđāļ
- Suitable for R&D and pilot-scale coating applications / āđāļŦāļĄāļēāļ°āļŠāļģāļŦāļĢāļąāļāļāļēāļāļāđāļēāļāļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāđāļĨāļ°āļāļąāļāļāļēāđāļĨāļ°āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļāļĢāļ°āļāļąāļāđāļāļĨāļāļāļŠāđāļāļĨ
- Supports various thin-film deposition techniques / āļĢāļāļāļĢāļąāļāđāļāļāļāļīāļāļāļēāļĢ deposition āļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļāļāđāļēāļāđ
Applications: Thin-film solar cell research (e.g., CdTe, CIGS, CZTS), Organic electronics (e.g., photovoltaics, OLEDs), Optical coatings, Microelectronics / āļāļēāļĢāļ§āļīāļāļąāļĒāđāļāļĨāļĨāđāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđāđāļāļāļāļīāļĨāđāļĄāļāļēāļ (āđāļāđāļ CdTe, CIGS, CZTS), āļāļļāļāļāļĢāļāđāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ (āđāļāđāļ āđāļāļĨāļĨāđāđāļŠāļāļāļēāļāļīāļāļĒāđ, OLED) āļāļēāļĢāđāļāļĨāļ·āļāļāļāđāļ§āļĒāđāļŠāļ āđāļĄāđāļāļĢāļāļīāđāļĨāđāļāļāļĢāļāļāļīāļāļŠāđ