Call center :
Fax : 02-861-9463
E-mail :
Category >> Products / Vacuum Technology / Leybold / Turbomolecular Pumps ...
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular vacuum pumps (TURBOVAC) are used in applications which require a clean high or ultrahigh vacuum like, for example, in research, development or in industrial fields like the semiconductor industry, analytical instrumentation or coating technology. Pumping speeds for air vary from 35 l/s to 2400 l/s.
ปั๊มสุญญากาศชนิดเทอร์โบปั๊ม ทำความดันสุญญากาศระดับสูงถึง 10-10 mbar ทำงานร่วมกับ backing pump เช่น ปั๊มกลโรตารี่ เป็นต้น ใช้กับงานที่มีความสะอาดสูงและงานที่ต้องการสุญญากาศระดับลึกเช่น งานวิจัยและพัฒนา งานด้านอุตสาหกรรม ไม่ว่าจะเป็น อุตสาหกรรมสารกึ่งตัวนำ เครื่องวิเคราะห์ หรืองานเทคโนโลยีการเคลือบ
Turbomolecular pumps with hybrid bearing technology (mechanical/magnetic)
- Pumping speed up to 950 l/s
- Oil free hybrid bearings 
  (mechanical/permanent magnetic)
- Installation in any orientation
- Integrated electronics including a variety of
  options for communication and control of
  accessory components
- Versions for high compression and high gas
   throughputs available
Turbomolecular pumps, mechanically suspended 

- Pumping speed up to 1,150 l/s
- Two oil-free mechanical ceramic bearings
- Installation in any orientation
- Versions with high resistance to mechanical
  shocks and shock venting obtainable
- Versions without any electronics for
   radiation applications available
Home   l   Products   l   About us   l   Contacts    l   Download
Copyright © 2003-2011 All Right Reserved.